電子デバイス応用研究室では、
低コスト・マルチターゲット型スパッタエピタキシー装置を開発しました。
この装置を用いて、通常のスパッタリングでは難しいとされる
化合物半導体のエピタキシャル成長を行い、 作製した半導体の評価/検討、
アプリケーションの研究/開発を行っています。
また、アプリケーションの1つとして、
LED光源を用いた高効率な植物工場の研究を並行して行っています。
電子デバイス応用研究室 研究活動について
