電子デバイス応用研究室について

〇 学会発表について

2026/03/18 スパッタ成長ZnO層のアニーリング処理
 (2026年第73回応用物理学会春季学術講演会)
2026/03/18 UHVスパッタエピタキシー法によるGaドープZnO層の成長
 (2026年第73回応用物理学会春季学術講演会)

2025/03/14 UHVスパッタエピタキシー法による六方晶ZnSnN2層の成長(IV)
 (2025年第72回応用物理学会春季学術講演会)
2025/03/14 プラズマLPE法によるGaN層の成長(III)
 (2025年第72回応用物理学会春季学術講演会)

2024/09/18 プラズマLPE法によるGaN層の成長(II)
 (2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
2024/09/18 プラズマLPE法によるGaN層の成長(I)
 (2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
2024/09/17 UHVスパッタエピタキシー法による六方晶ZnSnN2層の成長(III)
 (2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
2024/09/17 UHVスパッタエピタキシー法による六方晶ZnSnN2層の成長(II)
 (2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
2024/03/23 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(Ⅱ)
 (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会)
2024/03/23 UHVスパッタエピタキシー法による六方晶及び立方晶GaN層の成長
 (2024年第71回応用物理学会春季学術講演会)

2023/09/21 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会)
2023/09/21 UHVスパッタエピタキシー法による六方晶ZnSnN2層の成長
 (2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会)
2023/09/21 UHVスパッタエピタキシー法による立方晶GaN層の成長
 (2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会)
2023/03/17 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(VI)
 (2023年第70回応⽤物理学会春季学術講演会)

2022/09/23 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(Ⅳ)
 (2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/09/23 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(Ⅴ)
 (2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/09/22 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN層の成長メカニズム(Ⅲ)
 (2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/09/21 UHVスパッタエピタキシー法によるZnSnN2層の成長(II)
 (2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会)
2022/03/24 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN層の成長メカニズム (Ⅱ)
 (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会)
2022/03/23 UHVスパッタエピタキシー法によるZnSnN2層の成長
 (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会)
2022/03/23 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(III)
 (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会)
2022/03/23 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(Ⅱ)
 (2022年第69回応用物理学会春季学術講演会)

2021/09/23 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN層の成長メカニズム
 (2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会)
2021/09/23 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会)

2020/03/14 GaN層の表面汚染に関する検討(Ⅳ)
 (2020年第67回応用物理学会春季学術講演会)
2020/03/13 GaN層の表面汚染に関する検討(Ⅲ)
 (2020年第67回応用物理学会春季学術講演会)
2020/03/13 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN層の成長
 (2020年第67回応用物理学会春季学術講演会)
2020/03/13 UHVスパッタエピタキシー法によるZnS層の成長とその評価
 (2020年第67回応用物理学会春季学術講演会)
2020/03/13 スパッタエピタキシー法によるCuドープZnS層の成長
 (2020年第67回応用物理学会春季学術講演会)

2019/09/18 UHVスパッタエピタキシー法によって成長した高配向性SnO2層
 (第80回応用物理学会秋季学術講演会)
2019/09/18 UHVスパッタエピタキシー法によるAlN層の成長(Ⅰ)
 (第80回応用物理学会秋季学術講演会)
2019/09/18 UHVスパッタエピタキシー法によるAlN層の成長(Ⅱ)
 (第80回応用物理学会秋季学術講演会)
2019/09/18 UHVスパッタエピタキシー法によるAlN層の成長(Ⅲ)
 (第80回応用物理学会秋季学術講演会)
2019/09/18 スパッタエピタキシー法によるAgドープZnS層の成長
 (第80回応用物理学会秋季学術講演会)
2019/03/11 GaN層の表面汚染に関する検討 ( II )
 (第66回応用物理学会春季学術講演)

2018/11/01 スパッタ法によって成長したZnO単結晶層の水素ガス応答原理の検討
 (第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム)
2018/09/19 GaN層の表面汚染に関する検討 ( I )
 (第79回応用物理学会秋季学術講演会)
2018/09/19 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長(III)
 (第79回応用物理学会秋季学術講演会)
2018/09/19 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長(II)
 (第79回応用物理学会秋季学術講演会)
2018/07/13 スパッタ成長ZnO単結晶層の水素ガス応答における温度依存性
 (平成30年度電気学会E部門総合研究会)
2018/05/31 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長
 (平成30年度日本材料科学会学術講演大会)
2018/05/31 スパッタ成長GaN層のアニーリング処理
 (平成30年度日本材料科学会学術講演大会)
2018/03/20 GaN層の表面状態に関する検討(Ⅲ)
 (第65回 応用物理学会 春季学術講演会)
2018/03/19 スパッタ成長ZnO単結晶層を用いたH2ガスセンサの開発
 (第65回 応用物理学会 春季学術講演会)
2018/03/14 スパッタ成長ZnO単結晶層の水素ガス応答に関する検討
 (平成30年 電気学会全国大会)

2017/11/28 スパッタエピタキシー法によって成長したZnO単結晶層の水素ガス応答の検討
 (ケミカルセンサ,バイオ・マイクロシステム 合同研究会)
2017/11/01 ZnO単結晶層を用いたUVセンサ感度向上のための電極間距離依存性の検討
 (第34回「センサ・マイクロマシンと応用」システムシンポジウム)
2017/10/31 くし型電極を用いたススの検出とその再生方法の検討
 (第34回「センサ・マイクロマシンと応用」システムシンポジウム)
2017/09/08 GaN層の表面状態に関する検討(Ⅱ)
 (第78回応用物理学会秋季学術講演会)
2017/09/08 UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長
 (第78回応用物理学会秋季学術講演会)
2017/09/08 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (第78回応用物理学会秋季学術講演会)
2017/09/06 UHVスパッタエピタキシー法によるZnS層の成長 (II)
 (第78回応用物理学会秋季学術講演会)
2017/09/06 UHVスパッタエピタキシー法によるZnS層の成長(III)
 (第78回応用物理学会秋季学術講演会)
2017/06/30 植物葉の水ストレス状態と光透過特性の経時変化の関係
 (平成29年度電気学会E部門総合研究会)
2017/06/29 ZnO単結晶層のスパッタ成長とUV応答特性の検討
 (平成29年度電気学会E部門総合研究会)
2017/06/26 スパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長
 (平成29年度日本材料科学会学術講演大会)
2017/06/26 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (平成29年度日本材料科学会学術講演大会)
2017/03/17 GaN層の表面状態に関する検討
 (第64回応用物理学会春季学術講演会)
2017/03/17 UHVスパッタエピタキシー法によるZnS層の成長
 (第64回応用物理学会春季学術講演会)

2016/10/25 ニューラルネットワークによる植物生体電位を用いた光合成速度推定の精度改善
 (第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム)
2016/09/13 UHVスパッタエピタキシー法により成長したZnS層のアニール処理
 (第77回応用物理学会秋季学術講演会)
2016/06/30 植物葉の光反射特性の検討とそれを応用した水ポテンシャル評価
 (センサマイクロマシン部門総合研究会)
2016/06/29 スパッタエピタキシー法により成長したZnO単結晶層の真空アニール処理
 (平成28年度日本材料科学会学術講演大会)
2016/03/19 UHVスパッタ法により成長したZnO単結晶層のアニール処理 (Ⅰ)
 (第63回応用物理学会春季学術講演会)
2016/03/19 UHVスパッタ法により成長したZnO単結晶層のアニール処理(Ⅱ)
 (第63回応用物理学会春季学術講演会)

2015/09/15 UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長 (II)
 (第76回応用物理学会秋季学術講演会)
2015/09/14 UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理(III)
 (第76回応用物理学会秋季学術講演会)
2015/09/14 UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理(Ⅱ)
 (第76回応用物理学会秋季学術講演会)
2015/09/13 UHV スパッタ法により成長したZnO 層の大気アニール処理(IV)
 (第76回応用物理学会秋季学術講演会)
2015/09/13 UHVスパッタエピタキシー法によるZnS単結晶層の成長(II)
 (第76回応用物理学会秋季学術講演会)
2015/03/12 UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理
 (第62回応用物理学会春季学術講演会)
2015/03/12 スパッタ法によるGaNテンプレート上へのInN層の成長
 (第62回応用物理学会春季学術講演会)
2015/03/12 スパッタ法によるZnOテンプレート上へのInN層の成長
 (第62回応用物理学会春季学術講演会)
2015/03/11 UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長
 (第62回応用物理学会春季学術講演会)

2014/09/20 UHVスパッタエピタキシー法によるZnMgO層の成長(Ⅱ)
 (第75回応用物理学会秋季学術講演会)
2014/09/20 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(II)
 (第75回応用物理学会秋季学術講演会)
2014/09/17 UHV スパッタエピタキシー法によるInN 層の成長 (III)
 (第75回応用物理学会秋季学術講演会)
2014/09/17 UHVスパッタエピタキシーによるZnS単結晶層の成長
 (第75回応用物理学会秋季学術講演会)
2014/09/17 UHVスパッタエピタキシー法によるInN層の成長(Ⅱ)
 (第75回応用物理学会秋季学術講演会)
2014/03/20 UHVスパッタエピタキシーによるInN層の成長
 (第61回応用物理学会春季学術講演会)

2013/09/17 UHV スパッタエピタキシー法によるMgO単結晶層の成長
 (第74回応用物理学会秋季学術講演会)
2013/09/17 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (第74回応用物理学会秋季学術講演会)
2013/09/16 UHVスパッタエピタキシーによるZnS層の成長(II)
 (第74回応用物理学会秋季学術講演会)
2013/09/16 UHVスパッタエピタキシーによるZnS層の成長(I)
 (第74回応用物理学会秋季学術講演会)
2013/03/30 UHVスパッタエピタキシーによるAlN単結晶層の成長
 (第60回応用物理学会春季学術講演会)
2013/03/28 スパッタ法によりa面Al2O3基板上に成長したZnO単結晶層のアニーリング効果(II)
 (第60回応用物理学会春季学術講演会)

2012/11/16 UHVスパッタエピタキシー法によるAlN単結晶層の成長
 (’12 SAS Intelligent Symposium)
2012/11/16 UHVスパッタエピタキシー法によるInGaN単結晶層の成長(II)
 (’12 SAS Intelligent Symposium)
2012/11/16 UHVスパッタエピタキシー法によるInGaN単結晶層の成長(I)
 (’12 SAS Intelligent Symposium)
2012/11/16 UHVスパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長
 (’12 SAS Intelligent Symposium)
2012/09/13 UHVスパッタエピタキシーによるAlN単結晶層の成長
 (第73回応用物理学会学術講演会)
2012/09/13 スパッタエピタキシー法によるZnMgO単結晶層の成長
 (第73回応用物理学会学術講演会)
2012/09/13 スパッタ成長したZnO単結晶層のアニーリング効果
 (第73回応用物理学会学術講演会)
2012/09/13 スパッタ法によりa面Al2O3基板上に成長したZnO単結晶層のアニーリング効果
 (第73回応用物理学会学術講演会)
2012/03/18 UHVスパッタエピタキシーによるInGaN単結晶層の成長(IV)
 (第59回応用物理学関係連合講演会)
2012/03/16 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(VI)
 (第59回応用物理学関係連合講演会)
2012/03/16 スパッタ成長したGaドープZnO単結晶層のアニーリング効果
 (第59回応用物理学関係連合講演会)

2011/08/31 UHVスパッタエピタキシーによるAlN単結晶層の成長(II)
 (第72回応用物理学会学術講演会)
2011/08/31 UHVスパッタエピタキシーによるInGaN単結晶層の成長(III)
 (第72回応用物理学会学術講演会)
2011/08/31 UHVスパッタエピタキシーによるInGaN単結晶層の成長(II)
 (第72回応用物理学会学術講演会)
2011/08/31 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(III)
 (第72回応用物理学会学術講演会)
2011/08/31 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(IV)
 (第72回応用物理学会学術講演会)
2011/08/31 スパッタエピタキシー法によるZnO単結晶層の成長(V)
 (第72回応用物理学会学術講演会)

2008/03 UHVスパッタ法による2インチ径AlGaN単結晶層の成長(II)
 ((社)応用物理学会)
2008/03 UHVスパッタ法による2インチ径AlGaN単結晶層の成長(I)
 ((社)応用物理学会)
2008/03 UHVスパッタ法によるGaN単結晶層の成長
 ((社)応用物理学会)
2008/03 UHVスパッタ法による低温バッファ層を用いたGaN系単結晶層の成長
 ((社)応用物理学会)


〇 論文・報告書について

2024/05/07 (査読あり)
[標題]High-temperature growth of ZnSnN2 layer via radiofrequency magnetron sputter epitaxy
[出版・発行]IOP Publishing / The Japan Society of Applied Physics

2019/10  (査読あり)
[標題]Surface Contamination with Si and O Impurities for GaN Single-Crystalline Layers Grown by Ultra-High-Vacuum Sputter Epitaxy
[出版・発行]IOP Publishing

2019/01  (査読あり)
[標題]Properties of Highly c-axis Oriented Single-crystalline ZnO Layers Grown by Sputter Epitaxy for Hydrogen Gas and UV Sensors
[出版・発行]International Frequency Sensor Association

2018/09  (査読あり)
[標題]Application of highly c-axis oriented single-crystalline ZnO layers grown by sputter epitaxy to hydrogen gas sensor and UV sensor
[出版・発行]International Frequency Sensor Association

2017/03  (査読あり)
[標題]Applying neural network to photosynthesis evaluation using plant bioelectricity
[出版・発行]The Research Institute of Signal Processing

2017/01  (査読あり)
[標題]Preparation and properties of GaN:Al layers grown by radio-frequency magnetron sputter epitaxy
[出版・発行]Elsevier

2016/03  (査読あり)
[標題]Structural properties of GaN layers grown on Al2O3 (0001) and GaN/Al2O3 template by reactive radio-frequency magnetron sputter epitaxy
[出版・発行]Elsevier

2012/04  (査読あり)
[標題]Highly c-axis oriented AlN layers grown on c-plane sapphire substrates by radio-frequency sputter epitaxy at 1080 °C
[雑誌名]Thin Solid Films

2008   (査読あり)
[標題]Structural properties of GaN and related alloys grown by rf magnetron sputter epitaxy
[雑誌名]Thin Solid Films 516 (2008) 2837

2006   (査読あり)
[標題]Structural and optical properties of InN films prepared by radio frequency magnetron sputtering
[雑誌名]Thin Solid Films 503 (2006) 8

2005   (査読あり)
[標題]Temperature dependence of InN film deposition by a r.f. plasma-assisted reactive ion-beam sputtering deposition technique
[雑誌名]Thin Solid Films 476 (2005) 276

2002   (査読あり)
[標題]Deposition of an InN thin film by a r. f. plasma-assisted reactive ion-beam sputtering deposition (R-IBSD) technique
[雑誌名]Diamond and Related Materials

2012/07 スパッタ法によるZnO薄膜の合成とそのバイオセンサーへの応用
(東京電機大学フロンティア共同研究センター2011年度研究成果報告書)
2011/07 スパッタ法によるZnO薄膜の合成とそのバイオセンサーへの応用
(東京電機大学フロンティア共同研究センター2010年度研究成果報告書)